» Từ khóa: phuong phap phun xa

Kết quả 1-5 trong khoảng 5

Phún xạ CuO lên bề mặt dây nanô SnO2 nhằm nâng cao tính chất nhạy khí H2S

Tính chất nhạy khí của vật liệu nanô oxit kim loại bán dẫn sẽ được cải thiện đáng kể khi biến tính bề mặt. Trong bài báo này, chúng tôi trình bày quy trình mọc dây nanô SnO2 trực tiếp lên điện cực Pt bằng phương pháp bốc bay nhiệt ở 750oC và cách biến tính bề mặt dây nanô SnO2 bằng hạt nanô Cu bằng phương pháp phún xạ. Dây nanô SnO2 được phún...

6 p husc 31/12/2019 181 1

Từ khóa: Dây nanô SnO2, Biến tính bề mặt, Cảm biến khí H2S, Phún xạ trực tiếp Cu, Phương pháp phún xạ, Phương pháp bốc bay nhiệt
Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính...

5 p husc 31/08/2019 225 1

Từ khóa: Tạp chí Khoa học và Công nghệ, Màng mỏng WO3, Cảm biến khí, Kỹ thuật quang khắc, Phương pháp phún xạ phản ứng
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất quang và điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Ga (GTO) loại p được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất 4.10-3 torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. Mời các bạn cùng tham khảo kết quả nghiên cứu.

10 p husc 24/07/2017 228 1

Từ khóa: Phún xạ magnetron DC, Màng dẫn điện trong suốt SnO2:Ga, Màng dẫn điện, Phương pháp phún xạ magnetron DC, Phương pháp phún xạ, Ảnh nhiễu xạ tia X
Xây dựng hệ tạo màng mỏng bằng phương pháp Sputtering - DC

Nghiên cứu chế tạo hoàn chỉnh 1 hệ tạo màng mỏng bằng phương pháp Sputtering DC phục vụ cho việc chế tạo một số loại màng dẫn như Ag, Au, Pt.. trên các loại đế khác nhau. Ghi chú: Tài liệu toàn văn liên hệ theo địa chỉ: Email: thuviendhkh@gmail.com ĐT: 054 3822440 – 054 3832447

11 p husc 19/02/2016 418 0

Từ khóa: Điện tử học, hệ tạo màng mỏng, phương pháp Sputtering - DC, phương pháp phún xạ
Giáo trình Vật lý và kỹ thuật màng mỏng - Nguyễn Năng Định

Giáo trình Vật lý và kỹ thuật màng mỏng do Nguyễn Năng Định biên soạn nhằm giúp các bạn củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Mời các bạn tham khảo giáo trình để bổ sung thêm kiến thức về lĩnh vực này.

240 p husc 28/05/2015 754 4

Từ khóa: Vật lý và kỹ thuật màng mỏng, Giáo trình Vật lý, Động học chất khí, Lý thuyết bốc bay chân không, Phương pháp phún xạ, Phân tích đặc trưng màng mỏng