Xây dựng hệ tạo màng mỏng bằng phương pháp Sputtering - DC

Nghiên cứu chế tạo hoàn chỉnh 1 hệ tạo màng mỏng bằng phương pháp Sputtering DC phục vụ cho việc chế tạo một số loại màng dẫn như Ag, Au, Pt.. trên các loại đế khác nhau.

Ghi chú: Tài liệu toàn văn liên hệ theo địa chỉ:
Email: thuviendhkh@gmail.com
ĐT: 054 3822440 – 054 3832447

Từ khóa: Điện tử học, hệ tạo màng mỏng, phương pháp Sputtering - DC, phương pháp phún xạ