Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

» Từ khóa: phuong phap phun xa phan ung

Kết quả 1-1 trong khoảng 1

Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính...

5 p husc 31/08/2019 228 1

Từ khóa: Tạp chí Khoa học và Công nghệ, Màng mỏng WO3, Cảm biến khí, Kỹ thuật quang khắc, Phương pháp phún xạ phản ứng

Đăng nhập

Hướng dẫn khai thác thư viện số

Bộ sưu tập nổi bật

Tin nhanh

Trung tâm Thông tin Thư viện trường Đại học Khoa học Huế

Địa chỉ: 77 Nguyễn Huệ, Thành phố Huế
Email: thuviendhkh@husc.edu.vn
Điện thoại: 0234.3822440 ; 0234.3832447

Phát triển bởi Thư viện số