Ebook Công nghệ micrô điện tử và nanô điện tử: Phần 1 - NXB Giáo dục

Phần 1 cuốn sách "Công nghệ micrô điện tử và nanô điện tử" trình bày các nội dung: Khái quát những vấn đề chung liên quan đến lĩnh vực micrô và nanô điện tử, công nghệ micrô điện tử trên si-các công đoạn thiết kế, chế tạo mặt nạ và chế tạo vật liệu bán dẫn khối, công nghệ lớp mặt và một số công nghệ chế tạo màng mỏng kích thước micrô và nanô,... Mời các bạn cùng tham khảo.

Từ khóa: Công nghệ micrô điện tử, Công nghệ nanô điện tử, Chế tạo mặt nạ, Chế tạo vật liệu bán dẫn khối, Công nghệ lớp mặt, Công nghệ chế tạo màng mỏng