Giáo trình Vật lý và kỹ thuật màng mỏng - Nguyễn Năng Định

Giáo trình Vật lý và kỹ thuật màng mỏng do Nguyễn Năng Định biên soạn nhằm giúp các bạn củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Mời các bạn tham khảo giáo trình để bổ sung thêm kiến thức về lĩnh vực này.

Từ khóa: Vật lý và kỹ thuật màng mỏng, Giáo trình Vật lý, Động học chất khí, Lý thuyết bốc bay chân không, Phương pháp phún xạ, Phân tích đặc trưng màng mỏng